Ex-situ Spannungsmesssystem SIG-500SP
Anwendungsbereiche
Das Spannungs Messgerät SIG-500SP wurde optimiert um ex-situ die Spannung in Dünnschicht Systemen auf Referenzsubstraten zu messen. Es ist schnell und einfach zu bedienen und kann so gut wie überall aufgebaut werden, z.B. direkt in der Nähe der Beschichtungsanlage, um jede produzierte Charge gleich analysieren zu können. Auf diese Weise hilft Ihnen das Gerät bei der Qualitätskontrolle und unterstützt Sie beim Entwicklungsprozess.
Prinzip:
Technische Daten:
| Auflösung: | Besser als +-15 MPa bei einer 100nm Schicht auf einem 150µm dicken Si-Substrat |
| Substrate: | Nahezu alle Materialien Eine Seite spiegelnd (mindestens R = 3%) Typische Dicken von 100µm bis 1000µm |
| Probenhalter: | Erhältlich für alle Substratformen kleiner als 100mm x 100mm
Reproduzierbare Positionierung der Substrate mit einer Genauigkeit von < 0.1mm durch 45° Neigung |
| Detektor: | CCD Zeilendetektor |
| Laser / Optik: | Diodenlasermodul mit Strahlteileroptik (erzeugt zwei parallele Laserlinien mit einem Abstand von 20mm) Laserschutzklasse I |
| Abmessungen: | 45cm x 15cm x18cm |
| Gewicht: | 18kg |
| Software: | Spezielle Software zum Messen, Auswerten und Archivieren |
Beispielmessung:
