In-situ Spannungsmesssystem SIG-2000SP
Anwendungsbereiche
Das Spannungsmessgerät SIG-2000SP wurde entworfen, um Spannungen
in dünnen Schichten bereits während des Beschichtungsprozesses zu messen.
Es kann an praktisch jede herkömmliche Beschichtungskammer außen angeflanscht
werden, um durch ein Fenster die zwei Laserstrahlen auf das Substrat zu lenken.
Auf dem Beschichtungsträger (also einer Kalotte oder einem Planetengetriebe)
wird ein Referenzsubstrat angebracht, an welchem die Spannung und ihre
Veränderungen bei jedem Umlauf gemessen werden kann. Das Gerät ist äußerst
hilfreich beim entwickeln neuer Dünnschichtsysteme, da man unterschiedlichste
Parameter, z.b. verschiedene Beschleunigungsspannungen, anwenden kann und der
Entwickler den tatsächlichen Einfluß auf den sich daraus ergebenen Stress
beobachten kann.
Prinzip:
Technische Daten:
| Auflösung: | Besser als +-30 MPa bei einer 100nm Schicht auf einem 150µm dicken Si-Substrat (bei Rotation von ca. 60U/min) |
| Substrate: | Nahezu alle Materialien Eine Seite spiegelnd (mindestens R = 3%) Typische Dicken von 100µm bis 1000µm |
| Probenhalter: | Erhältlich für alle Substratformen kleiner als 30mm x 30mm |
| Detektor: | CCD Zeilendetektor, wahlweise hochgeschwindigkeitsfähig |
| Laser / Optik: | Diodenlasermodul mit Strahlteileroptik (erzeugt zwei parallele Laserlinien mit einem Abstand von 10mm) Laserschutzklasse II |
| Abmessungen: | 12cm x 12cm x 25cm |
| Gewicht: | 6kg |
| Software: | Spezielle Software zum Messen, Auswerten und Archivieren |
| Montage: | Um das System an die gewünschte Anlage zu montieren liefert sigma-physik auch individuelle Adapter |
Beispielmessung:
