Ex-situ Spannungsmesssystem SIG-500SP mit Ofenerweiterung
Anwendungsbereiche
Das Spannungs Messgerät SIG-500SP wurde optimiert um ex-situ die
Spannung in Dünnschicht Systemen auf Referenzsubstraten zu messen.
Es ist schnell und einfach zu bedienen und kann so gut wie überall
aufgebaut werden, z.B. direkt in der Nähe der Beschichtungsanlage,
um jede produzierte Charge gleich analysieren zu können. Auf diese
Weise hilft Ihnen das Gerät bei der Qualitätskontrolle und unterstützt
Sie beim Entwicklungsprozess.
Mit der Ofenerweiterung kann das Gerät die Spannungen in dünnen Schichten
bei sich verändernden Temparaturen messen. Geht man von unterschiedlichen
Ausdehnungskoeffizienten von Schicht und Substrat aus, wird sich die Probe
auf grund des "Bimetal"-Effekts verformen. Darüberhinaus können zwei wichtige
Parameter der Schicht ermittelt werden:
Der Elastizitäts Modul (E) und der thermische Ausdehnungskoeffizient (a).
Prinzip:
Technische Daten:
| Ofen: | Halogenofen (600W) Tmax bis 600∞C |
| Substrate: | Nahezu alle Materialien Eine Seite spiegelnd (mindestens R = 3%) Typische Dicken von 100µm bis 1000µm |
| Probenhalter: | Dreipunktauflage im Ofen Optikerweiterung statt Standardprobenhalter des SIG-500SP |
| Laser / Optik: | Vorhandene Optik wird mit Umlenksystem erweitert |
| Abmessungen: | 30cm x 25cm x 50cm (nur Ofenerweiterung) |
| Gewicht: | 7kg |
| Software: | 18kg |
| Software: | Ofensteuerung erfolgt über ein Modul in der Messsoftware |
Software Screenshot:
Beispielmessung:
